1. Beladen
     Beschichtungskammer wird beladen
2. Evakuieren
     Beim Abscheiden von PVD-Schichten ist ein
     Hochvakuum erforderlich. Die Evakuierung findet
     in PLATIT-Anlagen in zwei Schritten statt:
     2.1 Die Drehschieberpumpe erzeugt einen Vordruck
            in der Kammer (von 100 bis 10-2 mbar)
     2.2 Die Turbomolekularpumpe erzeugt ein Hochvakuum
            von ungefähr 1 × 10-5 mbar
3. Aufheizen
    Kammer wird aufgeheizt, Prozesstemperaturen
    liegen bei ca. 150 – 500°C